宇佐美、松村: "Liquid Phase Deposition of Silicon Oxide" Jpn.J.Appl.Phys.37・1. L97-L99 (1998)

宇佐美、松村: "Liquid Phase Deposition of Silicon Oxide" Jpn.J.Appl.Phys.37・1. L97-L99 (1998)
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松村宇佐美:“氧化硅的液相沉积”Jpn.J.Appl.Phys.37・1(1998)。

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