CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果
CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果
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时效对CuTi合金溅射薄膜力学性能和电阻率的影响
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下河辺明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
桜井淳平;秦 誠一;下河辺明
