Effect of NH3 Input Partial Pressure on InGaN Growth by Tri-Halide Vapor Phase Epitaxy

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NH3 输入分压对三卤化物气相外延生长 InGaN 的影响

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
A. Koukitu
A. Koukitu
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Hirasaki;T. Hasegawa;M. Meguro;H. Murakami;Y. Kumagai;B. Monemar;A. Koukitu

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