An efficient 6.x nm extreme ultraviolet source produced by a short pulse CO2 laser
An efficient 6.x nm extreme ultraviolet source produced by a short pulse CO2 laser
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由短脉冲 CO2 激光器产生的高效 6.x nm 极紫外光源
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Higashiguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. H. Dinh;R. Amano;A. Sasanuma;G. Arai;Y. Fujii;A. Takahashi;D. Nakamura;T. Okada;T. Makimura;T. Miura;A. Endo;T. Mocek;P. Dunne;G. O’Sullivan;and T. Higashiguchi
