Study on Irradiation Effects by Femtosecond-pulsed Extreme Ultraviolet in Resist Materials
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复制标题
飞秒脉冲极紫外光对光刻胶材料的辐照效果研究
DOI：
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发表时间：
2021
影响因子：
0.8
通讯作者：
Yuichi Inubushi and Yasunari Maekawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuji Hosaka;Hiroki Yamamoto;Masahiko Ishino;Thanh-Hung Dinh;Masaharu Nishikino;Akira Kon;Shigeki Owada;Yuichi Inubushi and Yasunari Maekawa
