大気圧下における高品質薄膜作製のための高度制御技術
大気圧下における高品質薄膜作製のための高度制御技術
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常压下生产高质量薄膜的先进控制技术
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川原村 敏幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松崎俊介;太田垣知輝;高木耕平;川原村敏幸;川原村 敏幸
