点欠陥発生を介したSi酸化反応機構
点欠陥発生を介したSi酸化反応機構
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通过点缺陷产生的硅氧化反应机理
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高桑雄二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小川修一;高桑雄二
