ハロゲン系ガスにより熱エッチングされた炭化ケイ素の表面形状
ハロゲン系ガスにより熱エッチングされた炭化ケイ素の表面形状
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卤素气体热蚀刻碳化硅的表面形状
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
冬木 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畑山 智亮;田村 哲也;矢野 裕司;冬木 隆
