Sung-Soo Lee: "Optical Emission Spectroscopy of CH4/Ar/H2 Gas Discharge in rf Plasma CVD of Hydrogenated Amorphous Carbon Films" J.Korean Inst.of Sorf.Eng.29. 648-653 (1996)
Sung-Soo Lee: "Optical Emission Spectroscopy of CH4/Ar/H2 Gas Discharge in rf Plasma CVD of Hydrogenated Amorphous Carbon Films" J.Korean Inst.of Sorf.Eng.29. 648-653 (1996)
复制标题
Sung-Soo Lee：“氢化非晶碳薄膜射频等离子体 CVD 中 CH4/Ar/H2 气体放电的发射光谱”J.Korean Inst.of Sorf.Eng.29。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
