1.1 GHz Silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers

1.1 GHz Silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers
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1.1 GHz 硅片纳米机电谐振器，具有 20 nm 间隙横向换能器

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc. of the 18th International IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference, Miami, Jan.30- Feb.03, POSTER
影响因子：
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通讯作者：
L.BUCHAILLOT
L.BUCHAILLOT
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
V.AGACHE;B.LEGRAND;D.COLLARD;H.FUJITA;L.BUCHAILLOT

文献摘要

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