Application of Al/Ni Exothermic Reaction to Sputtering Chamber Cleaning

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Al/Ni放热反应在溅射室清洗中的应用

DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Inoue
and S. Inoue
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T. Namazu;K. Ohtani;K. Yoshiki;and S. Inoue

文献摘要

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