M. Sugiura, T. Shimano, H. Kurita, and A. Fuwa: "Silicon Precipitation Reaction Analysis From Tri-Chlorosilane By Infra-Red Spectroscopy" J. Electrochem. Soc.
M. Sugiura, T. Shimano, H. Kurita, and A. Fuwa: "Silicon Precipitation Reaction Analysis From Tri-Chlorosilane By Infra-Red Spectroscopy" J. Electrochem. Soc.
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M. Sugiura、T. Shimano、H. Kurita 和 A. Fuwa：“通过红外光谱法对三氯硅烷进行硅沉淀反应分析”J. Electrochem。
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