極薄ECR-スパッタカーボン膜のナノ摩耗特性
極薄ECR-スパッタカーボン膜のナノ摩耗特性
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超薄ECR溅射碳膜的纳米磨损特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒田久雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小澤勇記;金沢年朗;三宅正二郎;廣野滋;黒田久雄
