Ni-Co-Cu/Cu 積層膜の圧縮変形に及ぼす隣接する基板結晶の影響

Ni-Co-Cu/Cu 積層膜の圧縮変形に及ぼす隣接する基板結晶の影響
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相邻基底晶体对Ni-Co-Cu/Cu叠层薄膜压缩变形的影响

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
兼子佳久,窪前 友宏,内田真
兼子佳久,窪前 友宏,内田真
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Reina YAMATAKE;Masato SHIINOKI;Yoshihiro KOBAYASHI ;Tadahiko MASAKI;Shinsuke SUZUKI;兼子佳久,窪前 友宏,内田真

文献摘要

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