SiCにおけるエッチピット形状オフ角度およびポリタイプ依存性
SiCにおけるエッチピット形状オフ角度およびポリタイプ依存性
复制标题
SiC 中的蚀刻坑形状偏角和多型依赖性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
冬木隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畑山智亮;纐纈英典;矢野裕司;冬木隆
