Hiroharu kawasaki: "Simularities in spatial distribution of GeH_2 density, radical production rate and particle amount in GeH_4 rf discharges" Jpn. J. Appl. Phys.37・4B. L475-L477 (1998)
Hiroharu kawasaki: "Simularities in spatial distribution of GeH_2 density, radical production rate and particle amount in GeH_4 rf discharges" Jpn. J. Appl. Phys.37・4B. L475-L477 (1998)
复制标题
Hiroharu kawasaki：“GeH_4 rf放电中GeH_2密度、自由基生成率和粒子量的空间分布的相似性”Jpn. Phys.37・4B（1998）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
