Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
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利用拉伸多晶硅薄膜扭杆稳定低压驱动微镜的温度特性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hideo Miura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minoru Sasaki;Masayuki Fujishima;Kazuhiro Hane;Hideo Miura
