DFM for defect-free DSA hole shrink process
DFM for defect-free DSA hole shrink process
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用于无缺陷 DSA 缩孔工艺的 DFM
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shoji Mimotogi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ken Fukawatase;Kenji Yoshimoto;Masahiro Ohshima;Yoshihiro Naka;Shimon Maeda;Satoshi Tanaka;Seiji Morita;Hisako Aoyama;Shoji Mimotogi
