AlN single crystal growth on sapphire substrate under atomic nitrogen plasma
AlN single crystal growth on sapphire substrate under atomic nitrogen plasma
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原子氮等离子体在蓝宝石衬底上生长 AlN 单晶
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yasuhiro Hayakawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tetsuo Ozawa;Kiyohiko Katsumata;Minoru Dohi;and Yasuhiro Hayakawa
