Solid-State Diffusion Bonding of Silicon Nitride Using Titanium Foils
Solid-State Diffusion Bonding of Silicon Nitride Using Titanium Foils
复制标题
使用钛箔进行氮化硅的固态扩散接合
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Maeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Maeda;柴柳敏哉;Y.Takayama;T.Shibayanagi;M.Maeda;K.Tenyama;T.Shibayanagi;T.Shibayanagi;K.Tenyama;T.Shibayanagi;柴柳敏哉;T.Shibayanagi;M.Maeda;K.Tenyama;T.Shibayanagi;Y.Takayama;柴柳敏哉;M.Maeda;M.Maeda
