Fabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films by Ultrasonic Spray Assisted Mist Chemical Vapor Deposition Method
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超声喷雾辅助雾化化学气相沉积法制备透明导电氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takumi Ikenoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Ohtani;T. Sakai;S. Takahashi;T. Sakamaki;N. Nishitani;I. Ohira;T. Sakairi;N. Hirao;Y. Ohishi;I. Mashino;M. Hamada;Takumi Ikenoue
