亀田幸成: "Photoabsorption cross section and ionization quantum yield of silane in the EUV region." Proceedings of the 7th symposium on PLASMA PROCESSING.249-252 (1990)
亀田幸成: "Photoabsorption cross section and ionization quantum yield of silane in the EUV region." Proceedings of the 7th symposium on PLASMA PROCESSING.249-252 (1990)
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Yukinari Kameda：“EUV 区域硅烷的光吸收截面和电离量子产率。”第七届等离子体处理研讨会论文集。249-252 (1990)
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