ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究
ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究
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滚珠丝杠传动亚纳米定位研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田茂生，豊嶋裕太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. TANIKATA;H. CHO;T. SASAKI;H. HOSODA;深田茂生，豊嶋裕太
