武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Si系における極薄ZrN膜の拡散バリヤ効果" 電子情報通信学会電子部品材料研究会技術研究報告. CPM97-123. 47-52 (1997)
武山 真弓、野矢 厚: "Cu/Si系における極薄ZrN膜の拡散バリヤ効果" 電子情報通信学会電子部品材料研究会技術研究報告. CPM97-123. 47-52 (1997)
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Mayumi Takeyama、Atsushi Noya：“Cu/Si 体系中超薄 ZrN 薄膜的扩散势垒效应”电子、信息和通信工程师研究所电子元件材料研究小组的技术研究报告 CPM97-123 (1997)。
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