T.Hanada, M.Kobayashi, S.Tanabe and N.Soga: "Preparation and Physical Properties of Rf-Sputtered Amorphous Films in the Al_2O_3-AlN System" Journal of Non-Crystalline Solids. 135. 227-235 (1991)
T.Hanada, M.Kobayashi, S.Tanabe and N.Soga: "Preparation and Physical Properties of Rf-Sputtered Amorphous Films in the Al_2O_3-AlN System" Journal of Non-Crystalline Solids. 135. 227-235 (1991)
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T.Hanada、M.Kobayashi、S.Tanabe 和 N.Soga：“Al_2O_3-AlN 系统中射频溅射非晶薄膜的制备和物理性质”非晶固体杂志。
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