熱CVDによる層状窒化炭素薄膜の合成圧力依存性
熱CVDによる層状窒化炭素薄膜の合成圧力依存性
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热 CVD 层状氮化碳薄膜的合成压力依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
飯田 民夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高間 滋己;羽渕 仁恵;青木颯;飯田 民夫
