酸化レートの変化からみた4H-SiC Si面ウェット酸化雰囲気中に共存する酸素の役割
酸化レートの変化からみた4H-SiC Si面ウェット酸化雰囲気中に共存する酸素の役割
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从氧化速率变化角度分析4H-SiC Si表面湿式氧化气氛中共存氧的作用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石野田圭，平井悠久，喜多浩之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Atsuo Sadakata;Dai Taguchi;Takaaki Manaka;Mitsumasa Iwamoto;石野田圭，平井悠久，喜多浩之
