田中, 中島, 山下: "Density Functional Study on the Adsorption and Surface Reactions on SiO_2 in TiN-CVD using TiCl_4 and NH_3"Thin Solid Films. 409. 51 (2002)
田中, 中島, 山下: "Density Functional Study on the Adsorption and Surface Reactions on SiO_2 in TiN-CVD using TiCl_4 and NH_3"Thin Solid Films. 409. 51 (2002)
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Tanaka、Nakajima、Yamashita：“使用 TiCl_4 和 NH_3 进行 TiN-CVD 中 SiO_2 吸附和表面反应的密度泛函研究”薄固体薄膜。 409. 51 (2002)
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