Nb-doped TiO2 coatings developed by high power impulse magnetron sputtering-chemical vapor deposition hybrid deposition process

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高功率脉冲磁控溅射-化学气相沉积混合沉积工艺开发的掺铌TiO2涂层

DOI:
10.1116/6.0000118
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发表时间:
2020
期刊:
Vacuum, Surfaces, and Films
影响因子:
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通讯作者:
Kulczyk-Malecka J
Kulczyk-Malecka J
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kulczyk-Malecka J

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