Observation of Carbon Clusters at the 4H-SiC/SiO2 Interface

Observation of Carbon Clusters at the 4H-SiC/SiO2 Interface
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4H-SiC/SiO2 界面碳簇的观察

DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.264-268.857
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发表时间:
1997
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
--
通讯作者:
C. Harris
C. Harris
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
V. Afanas’ev;A. Stesmans;C. Harris

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