Development of compact SEM equipped with carbon nanotubes bundle field emission cathode

Development of compact SEM equipped with carbon nanotubes bundle field emission cathode
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配备碳纳米管束场发射阴极的紧凑型扫描电镜的开发

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
J. Vac. Sci & Technol. (印刷中)
影响因子:
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通讯作者:
Yahachi Saito
Yahachi Saito
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ryosuke Yabushita;Koichi Hata;Hideki Sato;Yahachi Saito

文献摘要

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