半密閉空間を有する光導波型微気圧センサにおける誘起圧力差持続時間のノズル長依存性の考察
半密閉空間を有する光導波型微気圧センサにおける誘起圧力差持続時間のノズル長依存性の考察
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半封闭空间光波导微压传感器中诱导压差持续时间与喷嘴长度相关性的考虑
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大河正志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
瀧口航;高岡直人;鳥山大樹;大河正志
