低エネルギー集束イオンビームを用いたGaAsのマスクレス選択成長におけるドーピングと評価
低エネルギー集束イオンビームを用いたGaAsのマスクレス選択成長におけるドーピングと評価
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使用低能量聚焦离子束无掩模选择性生长 GaAs 的掺杂和评估
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
朴康司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西山友和;金恩美;沼田和俊;朴康司
