AlON/SiO_2/SiC積層構造によるSiC-MOS界面の電気特性改善
AlON/SiO_2/SiC積層構造によるSiC-MOS界面の電気特性改善
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AlON/SiO_2/SiC叠层结构改善SiC-MOS界面电学特性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原田 真;他
