M. Hirose: "Thin Film Deposition by Reactive Plasma" Kakuyugo-Kenkyu. 55. 449-460 (1986)
M. Hirose: "Thin Film Deposition by Reactive Plasma" Kakuyugo-Kenkyu. 55. 449-460 (1986)
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M. Hirose：“反应等离子体薄膜沉积”Kakuyugo-Kenkyu。
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