M.Iida,H.T.Kaibe,T.Okumura: "Low-Temperature Fluorination of GaAs Surface by CF_4 Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.30. 1581-1584 (1991)
M.Iida,H.T.Kaibe,T.Okumura: "Low-Temperature Fluorination of GaAs Surface by CF_4 Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.30. 1581-1584 (1991)
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M.Iida、H.T.Kaibe、T.Okumura：“CF_4 等离子体对 GaAs 表面进行低温氟化”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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