SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態
SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態
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Cu薄膜上SUS304不锈钢溅射薄膜的生长相及生长形式
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
井上尚三
中科院分区:
文献类型:
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作者:
朝田昂大;大路利菜;井上尚三