エアロゾルデポジションによるサファイア基板表面の微細構造への選択的成膜と評価
エアロゾルデポジションによるサファイア基板表面の微細構造への選択的成膜と評価
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气溶胶沉积蓝宝石衬底表面选择性成膜及精细结构评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赤堀 匠・濱名 将大・佐藤 祐喜*・吉門 進三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川端暁登;佐藤祐喜;吉門進三;赤堀 匠・濱名 将大・佐藤 祐喜*・吉門 進三
