鉾井 耕司: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価 -ガス圧依存性および気体混合による効果-"電気学会放電研究会 ED-01-113. 1-6 (2001)
鉾井 耕司: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価 -ガス圧依存性および気体混合による効果-"電気学会放電研究会 ED-01-113. 1-6 (2001)
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Koji Hokoi：“使用 C_7F_<16> 沉积 C:F 膜及其评估 - 气压依赖性和气体混合的影响 -”IEEJ 放电研究组 ED-01-113 (2001)。
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