エレクトロマイグレーションによるAl微細ワイヤとボールの選択的形成
エレクトロマイグレーションによるAl微細ワイヤとボールの選択的形成
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通过电迁移选择性形成铝细线和球
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加藤 佳(坂 真澄)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小酒英範;山口紘;Koji Yazawa;加藤 佳(坂 真澄)
