三次元基板のグリーンレーザー結晶化によるLTPS TFTフラッシュメモリの特性評価

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三维基板绿光激光晶化表征 LTPS TFT 闪存

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
電子情報通信学会技術研究報告 109(321)
影响因子:
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通讯作者:
浩浦岡行治
浩浦岡行治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
市州和典;松江将博;赤松;浩浦岡行治

文献摘要

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