Preparation of Si1・xGex and SiC Compound Films by Atmospheric-pressure Plasma Enhanced Chemical Transport
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大气压等离子体增强化学输运制备 Si1·xGex 和 SiC 化合物薄膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
BLLroaki KAKIUCHI and Kisyohi YASUTAKE
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiromasa OHMI;Yoshinori HAMAOKA;Daiki KAMADA;BLLroaki KAKIUCHI and Kisyohi YASUTAKE
