トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(微細構造の高精細化に関する検討)
トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(微細構造の高精細化に関する検討)
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利用三角光刻和化学蚀刻的单晶硅微加工（高清微结构研究）
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
芦田極
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川堰宣隆;森田昇;山田茂;高野登;大山達雄;芦田極
