基板励振により残留応力制御した薄膜の機械的性質
基板励振により残留応力制御した薄膜の機械的性質
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衬底激励控制残余应力薄膜的机械性能
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木 崇雅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohito Tsuru;Yoji Shibutani;鈴木 崇雅
