Nanopatterning of Si surfaces by normal incident ion erosion: Influence of iron incorporation on surface morphology evolution
Nanopatterning of Si surfaces by normal incident ion erosion: Influence of iron incorporation on surface morphology evolution
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通过法向入射离子腐蚀对硅表面进行纳米图案化：铁的掺入对表面形态演变的影响
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Stefan Facsko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jing Zhou;Ming Lu陆明;Wolfhard Moller;Stefan Facsko
