Nanopatterning on rough surfaces using optically trapped microspheres
Nanopatterning on rough surfaces using optically trapped microspheres
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使用光学捕获微球在粗糙表面上形成纳米图案
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Arnold
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Tsai;R. Fardel;C. Arnold
虽然纳米制造结构发现越来越多的应用，但很少有技术能够图案化粗糙或不均匀的表面，或具有预先存在的结构的表面。在这封信中，我们表明，光阱辅助纳米图案化（OTAN），近场激光为基础的技术，是能够产生纳米级的功能表面粗糙度大，但不需要调整焦点。在垂直台阶大于0.5 μm的聚酰亚胺模型表面上进行图案化显示出高度的均匀性，表明OTAN是一种适合新兴技术的非传统表面图案化技术。
While nanofabricated structures find an increasingly large number of applications, few techniques are able to pattern rough or uneven surfaces, or surfaces with pre-existing structure. In this letter we show that optical trap assisted nanopatterning (OTAN), a near-field laser based technique, is able to produce nanoscale features on surfaces with large roughness but without the need for focus adjustment. Patterning on model surfaces of polyimide with vertical steps greater than 0.5 μm shows a high degree of uniformity, demonstrating that OTAN is a suitable technique to pattern nontraditional surfaces for emerging technologies.