一宮亮一・坂本秀一 等: "New Method of Measuring Film Thickness by means of Sound Signal" Proc.of Int.Sympo.Industrial Robots.26. 545-549 (1995)
一宮亮一・坂本秀一 等: "New Method of Measuring Film Thickness by means of Sound Signal" Proc.of Int.Sympo.Industrial Robots.26. 545-549 (1995)
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Ryoichi Ichinomiya、Shuichi Sakamoto 等人：“通过声音信号测量薄膜厚度的新方法”Proc.of Int.Sympo.Induscial Robots.26 (1995)。
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