3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons
3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons
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使用纠缠光子对数十纳米级凹槽进行 3D 表面测量
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuhiro Takaya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Congxiang Zhang;Yasuhiro Mizutani;Yasuhiro Takaya
