ポリシリコン薄膜のヤング率の有限要素解析
ポリシリコン薄膜のヤング率の有限要素解析
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多晶硅薄膜杨氏模量的有限元分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中 和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤静香;小川慧;青木尊之;今井陽介;坪木和久;榊原篤;青木尊之;田中 和人
