Introduction of Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy and Its Applications to the Evaluation of Electronic Materials and Devices
Introduction of Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy and Its Applications to the Evaluation of Electronic Materials and Devices
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扫描非线性介电显微镜简介及其在电子材料与器件评估中的应用
DOI:
10.1541/ieejjournal.137.697
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山末 耕平,茅根 慎通,長 康雄
中科院分区:
文献类型:
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作者:
松木 伸行;オローク ブライアン;大島 永康;上殿 明良;山末 耕平,茅根 慎通,長 康雄